Reseña del producto: Transductor de presión ZL91 y ZL92 para aplicaciones de semiconductores

Si trabaja en la industria de semiconductores, sabrá que hay aplicaciones que requieren equipos especializados para manipular líquidos o gases corrosivos, como la limpieza y el grabado húmedo. Estos procesos utilizan productos químicos corrosivos y agua de pureza ultra alta.

Los fabricantes de chips necesitan controlar estos líquidos con precisión. El transductor de presión utilizado debe ser anticorrosivo, de baja elusión de iones metálicos y, por supuesto, preciso. Cuando su proceso de semiconductores requiere medir la presión, necesita los mejores instrumentos para el trabajo.

Los transductores de presión para la industria de semiconductores deben diseñarse y fabricarse con materiales que eviten la contaminación en su proceso, y nuestros nuevos transductores de presión de fluoropolímero ZL91 y ZL92 cumplen los requisitos.

Veamos las características de estos transductores y cómo pueden funcionar para sus aplicaciones de semiconductores.

Características importantes

Estos transductores se utilizan en aplicaciones específicas que requieren compatibilidad química y baja elusión de iones metálicos para mantener la pureza del proceso.

El diseño exclusivo de la ZL91 y la ZL92 llena un hueco en el popular mercado de semiconductores, que ha estado luchando por satisfacer la demanda de obleas y componentes del mercado.

Materiales

El transductor de presión Ashcroft ZL91 está diseñado para aplicaciones de agua ultrapura y desionizada. Está construido con partes húmedas de fluoropolímero (PTFE/PFA) que minimizan la elución de iones metálicos. Su diseño compacto ayuda a reducir la contaminación y a mantener la pureza de su fluido de proceso.

El transductor de presión Ashcroft ZL92 está diseñado para su uso en procesos de semiconductores que requieren partes húmedas de PTFE/PFA para mejorar la compatibilidad química para su uso en gases y fluidos corrosivos, incluyendo ácido fluorhídrico u otros ácidos agresivos. Un diafragma de aislamiento secundario y un diseño de venteo aíslan el elemento sensor cerámico de gases y líquidos corrosivos, lo que prolonga la vida útil del transductor.

Especificaciones

ZL91:

Rangos de presión:
Rangos manométricos y compuestos desde 15 psi hasta 75 psi

Conexión a proceso:
Los tamaños de conexión de tubo incluyen: 1/4 pulg., 3/8 pulg., 1/2 pulg., 3/4 pulg. y 1 pulg.

Precisión: ±1,0% del intervalo a 73°F (23°C)
La precisión incluye los efectos de linealidad, histéresis y repetibilidad.

ZL92:

Rangos de presión:
0-45 psi a 0-75 psi

Conexión a proceso:
Los tamaños de conexión de tubo incluyen: 1/4 pulg., 3/8 pulg. y 1/2 pulg.

Precisión: ±1,0% del intervalo a 73°F (23°C)
La precisión incluye los efectos de linealidad, histéresis y repetibilidad.

Industrias y aplicaciones

Estos transductores especializados son perfectos para cuando el acero inoxidable estándar no es compatible o presenta problemas en determinadas aplicaciones, o cuando no es rentable. Se recomienda su uso en los siguientes sectores y aplicaciones:

ZL91:

• Instalaciones de agua ultrapura/desionizada
• Equipos de producción de agua ultrapura/desionizada
• Equipos de limpieza para semiconductores
• Equipos de limpieza para pantallas planas (FPD)
• Estaciones húmedas

ZL92:

• Equipos de limpieza para semiconductores
• Equipos de limpieza para pantallas planas (FPD)
• Sistemas de grabado húmedo
• Estaciones húmedas
• Sistemas de suministro de productos químicos

Ventajas e inconvenientes

Los transductores ZL91 y ZL92 presentan muchas ventajas. Estos transductores son fáciles de instalar en su sistema o proceso, utilizando una amplia selección de accesorios de compresión y uniones de tubo.

El ZL92 ofrece muchas de las mismas ventajas que el ZL91, pero también incorpora el diseño patentado de la empresa matriz de Ashcroft, Nagano Keiki, que protege el elemento sensor de los gases creados en aplicaciones ácidas o corrosivas que pueden penetrar a través del material PTFE. Este diseño utiliza un espacio de aire y ventilación para extender la vida del ZL92 permitiendo que los gases escapen en lugar de acumularse dentro de la carcasa.

El acero inoxidable, que es un material utilizado habitualmente para fabricar transductores, no siempre es compatible con este tipo de aplicaciones. En algunos casos, puede utilizarse Hastelloy, pero puede resultar bastante caro. Esto convierte a los ZL91 y ZL92 en la solución económica perfecta para estas aplicaciones.

Recapitulación

Los transductores de presión ZL91 y ZL92 son ideales para aplicaciones de semiconductores en las que se requiere pureza del medio y/o resistencia a la corrosión. Proporcionan un sensor fiable y duradero para satisfacer los requisitos de su aplicación.

Consulte las hojas de datos de ZL91 y ZL92 para obtener todas las especificaciones y más información sobre estos nuevos transductores.

Si desea obtener más información acerca de los transductores de presión, Ashcroft tiene muchos libros blancos, seminarios web y guías en el centro de recursos.

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