Revisión del producto: Manómetro anticorrosión HPT para aplicaciones de semiconductores

Este artículo se publicó originalmente el 20 de septiembre de 2021 y se actualizó el 14 de mayo de 2025.

En la industria de los semiconductores, la precisión y la pureza no son negociables. Hasta la más mínima contaminación puede comprometer el rendimiento de todo un proceso de fabricación. Por eso, los instrumentos de presión deben cumplir las normas más estrictas de limpieza, compatibilidad química y fiabilidad.

Ya sea que esté manejando la fabricación de obleas o procesos de enchapado, usted necesita un medidor diseñado para proteger su proceso, su equipo y la integridad de su producto. Ashcroft entiendeestedesafío y ha estado proporcionandoalos fabricantes de semiconductoressoluciones eficacesdurante décadas.Equipadoscon una ampliaexperiencia específica en la industria, diseñamos,fabricamos, probamos ydistribuimoslosinstrumentos necesarios para mantenersuproducción de semiconductoresfuncionandoconresultados óptimos.

Lea este artículo para aprender cómo uno de esos instrumentos, el manómetro HPT Ashcroft® de 63 mm, ofrece un rendimiento fiable en sistemas de suministro de productos químicos, aplicaciones de agua ultrapura y otros entornos críticos.

Al final del artículo, se le dirigirá a recursos adicionales para aprender más acerca de los procesos de semiconductores y la elección de los mejores instrumentos para sus aplicaciones. 

¿Por qué utilizar el manómetro HPT en aplicaciones de semiconductores?

La fabricación de semiconductores exige entornos como el del agua ultrapura, donde incluso las trazas de contaminantes pueden comprometer la integridad del producto. El manómetro anticorrosión HPT está diseñado para cumplir los estrictos requisitos de estas aplicaciones, por lo que es una opción fiable para entornos en los que el control de la contaminación, la compatibilidad química y la fiabilidad del proceso son la máxima prioridad.

HPT destaca la compatibilidad del medidor con fluidos químicamente agresivos y no contaminantes que se encuentran en entornos de semiconductores y farmacéuticos. Las piezas humedecidas con fluoropolímero evitan la elución de iones metálicos, por lo que es perfecto para procesos con agua ultrapura o desionizada, entre otros:

• Sistemas de suministro de productos químicos. Garantiza lecturas de presión precisas para medios corrosivos a la vez que salvaguarda la integridad del sistema.
  
  
• Fabricación de obleas. Controla la presión con precisión en entornos en los que el control de la contaminación es fundamental.
  
  
• Líneas de agua ultrapura y desionizada. Evita la elución de iones metálicos gracias a las piezas húmedas totalmente de fluoropolímero.
  
  
• Procesos de revestimiento y grabado. Soporta los productos químicos agresivos habituales en los tratamientos superficiales.
  
  
• Industrias farmacéutica y de alta pureza. Mantiene la higiene y la fiabilidad del sistema en entornos sensibles.

Características principales de este manómetro semiconductor

El HPT es más que un manómetro estándar: está construido desde dentro hacia fuera para soportar operaciones ultralimpias y de alto rendimiento:

• Piezas húmedas de fluoropolímero. La construcción en PTFE/PFA resiste la corrosión y evita la contaminación en sistemas químicos o acuosos.
  
  
• Montaje en sala limpia de clase 10.000. Minimiza la introducción de partículas, algo crítico para las instalaciones de semiconductores.
  
  
• Prueba de fugas con nitrógeno. Garantiza un funcionamiento estanco al gas para una fiabilidad constante a largo plazo.
  
  
• Tamaño compacto de 63 mm. Ideal para disposiciones de equipos densas o instalaciones con limitaciones de espacio.
  
  
• Embalaje sellado de polietileno. Lavado con nitrógeno y sellado tras el montaje para mantener la limpieza hasta el despliegue.

Ventajas del material fluoropolímero

Como se ha indicado anteriormente, con las piezas húmedas de fluoropolímero, el medidor es compatible con procesos que utilizan fluidos corrosivos o no contaminantes. En aplicaciones no contaminantes, estas piezas húmedas evitan la elución de iones metálicos, por lo que son perfectas para procesos con agua ultrapura o desionizada:

• La corrosión localizada puede aparecer en la industria de los semiconductores.
• En el acero inoxidable pueden producirse picaduras o grietas por tensión, que son el principal factor de riesgo.
• Existe la metalurgia extractiva/lixiviación del mineral con ácidos.
• Están presentes ácidos minerales y ácidos orgánicos fuertes.
• Existen medios de proceso metaestables que pueden sufrir una descomposición catalítica al entrar en contacto con el molibdeno (por ejemplo, ácido nítrico, hidracina).

En cambio, los manómetros de acero inoxidable pueden corroerse o liberar iones y óxidos metálicos, lo que provoca contaminación y partículas. 

Especificaciones técnicas para el control de la presión mediante semiconductores

The HPT model’s precision and versatility make it suitable for a wide range of pressure monitoring tasks in semiconductor environments:

Accuracy: ±1.5% of span (≥90 psi) and ±2.0% (<90 psi)

Pressure ranges: Vacuum to 145 psi

Process connections: Tube Stub (1/4”, 3/8”, ½”, 6 mm, and 8 mm), G 3/8” or  R 3/8” options

Operating temperatures: 10 °F to 85 °F (-12 °C to 29 °C)

Wetted parts: PFA bellows, PTFE sockets

Non-wetted parts: Polypropylene case, PET resin window

Weight: Approximately 190 grams

Calidad y conformidad en cada manómetro anticorrosión para semiconductores

La reputación de Ashcroft se basa en la coherencia, la calidad y el cumplimiento, características clave para los fabricantes de equipos originales y los fabricantes de industrias reguladas:

• Conforme a RoHS: Libre de sustancias peligrosas, cumple los requisitos medioambientales y de seguridad en el lugar de trabajo.
  
  
• Serialización única: Cada manómetro se marca individualmente con un número de serie de 7 dígitos para garantizar la trazabilidad
  
  
• Inspección y pruebas rigurosas: Los medidores se prueban más allá de las especificaciones estándar para garantizar su fiabilidad a largo plazo en entornos exigentes.

NNOTA: No se recomienda el uso de este manómetro en aplicaciones de gas o de alta temperatura. Si en una aplicación se utilizan productos químicos HF o HCl, éstos pueden impregnar el PTFE y provocar corrosión. Para este tipo de proceso, sería necesario utilizar un fluoropolímero de segunda generación como FEP o PFA.

En general, intente evitar polímeros en el grabado por plasma, ya que los polímeros pueden dañarse y generar partículas.

¿Cuánto cuesta el manómetro anticorrosión HPT?

Es importante tener en cuenta que los materiales de PTFE pueden llegar a triplicar el precio del acero inoxidable, dependiendo del acabado Ra y del nivel de limpieza. Mientras que los manómetros de acero inoxidable pueden oscilar entre 90 y 270 dólares, estos modelos pueden costar más de 800 dólares. Si el precio no es una preocupación, este medidor puede ser una adición acertada a su equipo de aplicación corrosiva.

¿Quiere saber más? 

El manómetro Ashcroft® HPT es una opción sólida para fluidos corrosivos en aplicaciones de semiconductores. Aunque el precio es más alto que un manómetro estándar, los materiales de fluoropolímero resistirán los procesos de semiconductores más desafiantes para ofrecerle mediciones de presión fiables y seguras.

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